近日，博时基金旗下股权投资平台博时创新完成对半导体离子注入机供应商北京烁科中科信电子装备有限公司（下称“烁科中科信”）的战略投资。

  烁科中科信成立于2019年6月，技术源于中国电科48所及中国电科装备，是国内较早专注于集成电路领域离子注入机业务的高端装备供应商。公司以攻克离子注入装备关键技术瓶颈，解决我国电子元器件制造工艺装备自主可控为主责，以离子注入机装备研发与产业化为主业，承担十五、十一五、十二五离子注入机研发及产业化项目，已实现全系列集成电路离子注入机批量应用，产业化能力达到28nm，面向第三代半导体离子注入机实现批量销售。

                                                                                  图片来源：烁科中科信

离子注入机是集成电路制造掺杂工艺的主要设备，在器件小型化和多样化方面起重要作用，研发难度极大。目前离子注入机市场主要被美日企业垄断，烁科中科信是国内率先实现向终端客户交付和验收离子注入机的公司。在晶圆厂扩产的趋势下，未来国产替代具有广阔的空间。

博时创新是博时基金旗下专注于新能源（风光氢储）、新能源汽车、半导体等领域全产业链的私募股权投资机构，依托博时基金强大的投研能力和百年央企招商局集团的产融背景，践行“投资价值发现者”理念，立志成为业内领先的专业投资机构。截止目前，博时创新已投资美科太阳能（创业板反馈阶段）、摩尔线程、国仪量子、未势能源、金晟新能源等众多优质企业。

未来，博时创新将继续关注细分领域的第一梯队项目，以及具有良好成长性的高潜力项目和国产替代项目，帮助被投企业实现价值腾飞，助力产业升级，服务国家目标！